Ker ima molibden značilnosti visoko tališče, visoko prevodnost, nizko specifično impedanco, dobro korozijsko odpornost in varstvo okolja, se v elektronski industriji pogosto uporablja molibdenski cilj, kot so ploščata plošča, sončne celice tanke filma, elektrode in materiale za ožičenje. Zdaj obvestite urednik in vsi o značilnostih cilja molibdena v izdelkih za volframo-molibden?
1. Cilj molibdena z visoko čistočo
Višja kot je čistost molibdenskega cilja, boljši je uspešnost razpršenega filma. Na splošno je potrebna čistost cilja molibdena, da doseže vsaj 99,95%. Vendar pa je z nenehnim izboljšanjem obsega steklenih substratov v industriji LCD potrebna dolžina ožičenja, da se razširi in širina črte je potrebna za tanjšo. Da bi zagotovili enotnost filma in kakovost ožičenja, se ustrezno izboljšajo tudi zahteve za čistost molibdena. Zato je v skladu z lestvico razpršenega steklenega substrata in aplikacijskega okolja potrebna čistost cilja molibdena, da je 99,99% -99. 999% ali celo višje.
2. Cilj molibdena z visoko gostoto
Med postopkom brizganja, ko se tarča brizganja z nizko gostoto bombardira, se plin v notranjih pore tarče nenadoma sprosti, kar ima za posledico obsežne ciljne delce ali mikro delci, ki se oblikujejo, film se film bombardirajo s sekundarnimi elektroni, ki tvorijo brizganje mikro delcev. Videz teh delcev bo zmanjšal kakovost filma. Da bi zmanjšali pore v ciljni trdni trd in izboljšali zmogljivost filma, je na splošno potreben tarča za brizganje, da ima večjo gostoto. Za molibdenske tarče brizganja mora biti relativna gostota nad 98%.
3. Velikost zrn
Na splošno so cilji molibdena, ki se razpršijo, polikristalne strukture, velikost zrn pa se lahko giblje od mikronov do milimetrov. Eksperimentalne študije so pokazale, da je hitrost brizganja drobnih zrn ciljev hitrejša kot pri grobih zrnih, porazdelitev debeline deponiranih filmov pa je bolj enakomerna za cilje z manjšimi razlikami v velikosti zrn.
4. smer kristalizacije
Med brizganjem se ciljni atomi preprosto prednostno razpršijo po smeri šesterokotne razporeditve atomov. Zato se za doseganje hitrosti brizganja hitrost brizganja pogosto poveča s spreminjanjem ciljne kristalne strukture. Smer kristalizacije cilja močno vpliva tudi na enotnost debeline razpršenega filma. Zato je pridobivanje ciljne strukture z določeno kristalno orientacijo ključnega pomena za postopek brizganja filma.
5. Termična in električna prevodnost
Proizvajalci izdelkov volframa in molibdena vam pravijo, da mora biti pred brizganjem tarča molibdena, ki se razprši, povezati s podvozjem brez kisika (ali aluminije in drugih materialov), da se zagotovi, da sta toplotna in električna prevodnost cilja in podvozja med brizganjem dobro. Po vezavi je treba opraviti ultrazvočni pregled, da se zagotovi, da je območje, ki ni vezavo, med obema manjšim od 2%, tako da ustreza zahtevam brizganja z visoko močjo, ne da bi padli.
6. Ciljna uspešnost molibdena
Čistost: čisti molibden, večji ali enak 99,95%, visoka temperaturna molibden, večji ali enak 99% (z dodanimi redkimi zemeljskimi elementi)
Gostota: večja ali enaka 10,2 g/cm3
Tališča: 2610 stopinj
Specifikacije: okrogla cilj, tarča plošče, vrteči se cilj
Učinkovito okolje: Vakuumsko okolje ali inertno zaščito plina, čisti molibden v izdelkih za volframo-molibden je višja, visoka temperaturna odpornost 1200 stopinj, zlitina molibdena je višja in visoka temperaturna odpornost 1700 stopinj.